식각
식각 속도가 100 nm/min인 조건에서 3분간 식각했을 때, 깎이는 막의 두께는 얼마인가?
- A약 3,000 nm
- B약 33 nm
- C약 300 nm
정답과 해설 보기
정답: C. 약 300 nm
깎이는 두께는 「식각 속도 × 시간」으로, 100 nm/min × 3 min = 300 nm입니다. 실제로는 막 두께나 식각 속도의 편차를 고려하여 종점을 검출한 뒤 조금 추가로 식각(오버 식각)합니다. 역산하면 500 nm의 막을 깎는 데는 5분, 20%의 오버 식각을 포함하면 6분이 기준이 됩니다. 장치에서는 이 시간과 종점 검출을 조합하여 관리합니다.
- A. 약 3,000 nm는 한 자릿수 너무 큽니다.
- B. 약 33 nm는 100을 3으로 나눈 값입니다.
- C. 맞습니다. 100 × 3 = 300 nm입니다.