Welke uitspraak over het bij droog etsen gebruikte 'plasma' is juist?

Antwoord: B. Een toestand van een gas waarin elektronen, ionen, radicalen e.d. door ionisatie gemengd voorkomen

Plasma is een toestand waarin door het toevoegen van bijvoorbeeld hoogfrequent vermogen aan een gas elektronen worden versneld en atomen en moleculen worden geïoniseerd, zodat elektronen, ionen, sterk reactieve radicalen en neutrale moleculen door elkaar voorkomen. Het wordt ook de 'vierde toestand' na vast, vloeibaar en gas genoemd. Het plasma in etsapparatuur is een 'koud plasma' waarvan de ionisatiegraad met circa 0,01% of minder laag is en waarin de gastemperatuur laag blijft terwijl alleen de elektronen een energie hebben die overeenkomt met enkele tienduizenden °C.