Ätzen

Wie dick ist die abgetragene Schicht, wenn bei einer Ätzrate von 100 nm/min 3 Minuten lang geätzt wird?

  1. AEtwa 3.000 nm
  2. BEtwa 33 nm
  3. CEtwa 300 nm
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Antwort: C. Etwa 300 nm

Die abgetragene Dicke ist „Ätzrate × Zeit“, also 100 nm/min × 3 min = 300 nm. In der Praxis wird unter Berücksichtigung der Streuung von Schichtdicke und Ätzrate nach Erkennen des Endpunkts noch etwas zusätzlich geätzt (Überätzen). Rückwärts gerechnet sind für eine 500-nm-Schicht 5 Minuten und mit 20 % Überätzen 6 Minuten ein Richtwert. In der Anlage wird diese Zeit mit der Endpunkterkennung kombiniert gesteuert.

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