Nederlands
Menu

Laagafzetting (CVD, PVD)

Welke uitspraak over vacuümopdampen is juist?

  1. ADe laag wordt afgezet door een chemische reactie van brongassen
  2. BMetaal wordt uit een elektrolyt neergeslagen
  3. CMateriaal wordt in vacuüm verhit tot het verdampt en slaat neer op het substraat
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Materiaal wordt in vacuüm verhit tot het verdampt en slaat neer op het substraat

Vacuümopdampen is PVD waarbij materiaal door weerstandsverhitting of een elektronenbundel wordt verhit tot het verdampt en de atomen die in een vacuüm van circa 10⁻⁴ Pa of lager vliegen, op het substraat neerslaan. De apparatuur is relatief eenvoudig en de lagen zijn zeer zuiver, maar omdat de atomen rechtlijnig bewegen is de stapdekking laag en wijkt de samenstelling van legeringen gemakkelijk af, zodat voor LSI-bedrading vooral sputteren wordt gebruikt. Het wordt gebruikt voor lift-off bij het vormen van elektroden op verbindingshalfgeleiders en voor het afzetten van lichtemitterende lagen van OLED's.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Laagafzetting (CVD, PVD)

  1. Welk probleem treedt gemakkelijk op wanneer de interne spanning van een afgezette dunne laag groot is?
  2. Hoe heet de methode waarbij een vloeibaar materiaal op het midden van de wafer wordt gedruppeld en met hoge snelheid wordt rondgedraaid om een gelijkmatige laag te vormen?
  3. Welke vloeibare organosiliciumverbinding wordt veel gebruikt als brongas voor CVD van siliciumoxide?
  4. Welk gas wordt als brongas gebruikt bij CVD van wolfraam?
  5. Waarom wordt hoogdichtheids-plasma-CVD (HDP-CVD) gebruikt voor het opvullen van smalle sleuven met isolatiemateriaal?

Vergelijkingen bij dit onderwerp