Hoe heet het werk waarbij het oppervlak van de CMP-polijstpad met een diamantgereedschap wordt afgeslepen en geconditioneerd om de polijstsnelheid stabiel te houden?

Antwoord: B. Padconditionering (dressing)

Bij voortgezet polijsten worden de fijne oneffenheden (asperities) van het padoppervlak platgedrukt (glazing) of lopen de gaatjes in de pad vol met polijstresten, zodat slurry niet kan worden vastgehouden en de polijstsnelheid daalt. Met een conditioner met diamantkorrels wordt het padoppervlak licht afgeslepen en wordt de ruwheid hersteld, zodat de polijstsnelheid stabiel blijft. De methode waarbij dit tijdens het polijsten gelijktijdig gebeurt is de gangbare, en te sterk afslijpen verkort de levensduur van de pad.