CMP와 세정
CMP 연마 패드의 표면을 다이아몬드 공구로 깎아 정돈하여 연마 속도를 안정시키는 작업을 무엇이라고 하는가?
- A애싱
- B패드 컨디셔닝(드레싱)
- C다이싱
정답과 해설 보기
정답: B. 패드 컨디셔닝(드레싱)
연마를 계속하면 패드 표면의 미세한 요철(애스퍼리티)이 뭉개져 평평해지거나(글레이징) 연마 부스러기가 패드의 구멍을 막아, 슬러리를 유지하지 못해 연마 속도가 떨어집니다. 다이아몬드 입자가 붙은 컨디셔너로 패드 표면을 살짝 깎아 요철을 재생함으로써 연마 속도를 안정시킵니다. 연마 중에 동시에 수행하는 방식이 주류이며, 지나치게 깎으면 패드 수명이 짧아집니다.