Wie heißt der Vorgang, bei dem die Oberfläche des CMP-Polierpads mit einem Diamantwerkzeug abgetragen und aufbereitet wird, um die Abtragsrate stabil zu halten?

Antwort: B. Pad-Konditionierung (Dressing)

Beim fortgesetzten Polieren werden die feinen Unebenheiten (Asperities) der Padoberfläche eingeebnet (Glazing) oder die Poren des Pads mit Polierabrieb zugesetzt, sodass das Pad den Slurry nicht mehr halten kann und die Abtragsrate sinkt. Mit einem diamantbesetzten Conditioner wird die Padoberfläche geringfügig abgetragen und die Rauheit wiederhergestellt, wodurch die Abtragsrate stabil bleibt. Gängig ist das gleichzeitige Konditionieren während des Polierens; wird zu stark abgetragen, verkürzt sich die Lebensdauer des Pads.