Welke reden om bij wolfraam-CMP een oxidatiemiddel zoals waterstofperoxide aan de slurry toe te voegen is juist?

Antwoord: A. Om het wolfraamoppervlak om te zetten in een gemakkelijk te polijsten oxide

Wolfraam is een hard metaal en mechanisch polijsten als zodanig is moeilijk. Het oppervlak wordt met een oxidatiemiddel zoals waterstofperoxide of ijzerzouten omgezet in zacht wolfraamoxide, dat door de schuurdeeltjes wordt verwijderd, en dit wordt herhaald om te polijsten. De polijstsnelheid hangt sterk af van de concentratie van het oxidatiemiddel, een voorbeeld dat de rol van het "chemische" deel van CMP duidelijk maakt. Daarnaast zijn maatregelen nodig om oxidatie en corrosie van verzonken delen te onderdrukken.