Welche Einrichtung wird in Halbleiterfabriken eingeführt, um den Verlust von Wafern in der Fertigung durch kurzzeitige Spannungseinbrüche oder Stromausfälle zu verhindern?

Antwort: B. Unterbrechungsfreie Stromversorgung (USV) und Einrichtungen gegen Spannungseinbrüche

Halbleiterfertigungsanlagen können schon bei einem Spannungseinbruch von etwa 0,1 s stillstehen; dabei können Wafer in Bearbeitung unbrauchbar werden, und es kann lange dauern, Vakuum und Temperatur wiederherzustellen und die Anlage wieder hochzufahren. Spannungseinbrüche, z. B. durch Blitzschlag, sind nicht selten; daher werden wichtige Anlagen und Einrichtungen mit unterbrechungsfreier Stromversorgung bzw. Einrichtungen gegen Spannungseinbrüche ausgestattet, damit die Stromversorgung nicht unterbrochen wird. Filter und FOUPs sind keine Maßnahmen zur Stromversorgung.