Cleanroom en productieapparatuur
Welke waarde benadert de gebruikelijke ingestelde temperatuur van een cleanroom het best?
- ACirca 5 ℃
- BCirca 23 ℃
- CCirca 40 ℃
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Circa 23 ℃
De temperatuur van een cleanroom wordt, met het oog op het comfort van operators in een cleanroompak en de stabiliteit van apparatuur en proces, in het algemeen op circa 23 ℃ ingesteld. Belangrijker dan de waarde zelf is de kleine variatie: ook in gewone gebieden circa ±1 ℃ en rond belichtingsapparatuur ±0,1 ℃ of minder. Bij 5 ℃ of 40 ℃ kunnen mensen niet lang werken en kan de nauwkeurigheid van de apparatuur niet worden gewaarborgd.