Wie heißt das in der Zeit der 200-mm-Wafer verbreitete Minienvironment-Verfahren, bei dem Kassetten in einem geschlossenen Pod an die Anlage übergeben werden?

Antwort: B. SMIF

SMIF (Standard Mechanical Interface) ist ein Verfahren, bei dem die Waferkassette in einem geschlossenen Pod transportiert wird und der Pod auf der Anlage nach unten geöffnet wird, sodass die Kassette in die Anlage übernommen wird. Es wurde in den 1980er-Jahren entwickelt und machte das Minienvironment-Konzept bekannt. Bei 300 mm entwickelte es sich zum FOUP weiter, der Kassette und Pod vereint und von vorn geöffnet wird. Das EFEM ist das Frontmodul der Anlage, an dem der FOUP übergeben wird.