Cleanroom en productieapparatuur

Welke voorziening bij de ingang van een cleanroom blaast sterke schone lucht op de operator om stof van het oppervlak van de kleding te verwijderen?

  1. APass box
  2. BZuurkast
  3. CLuchtdouche
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Luchtdouche

Een luchtdouche is een kleine ruimte waar operators doorheen gaan bij het betreden van de cleanroom en waar uit nozzles aan vier zijden schone lucht met een hoge snelheid van 20 m/s of meer wordt geblazen om stof van het oppervlak van het cleanroompak te verwijderen. De deuren aan beide zijden kunnen niet tegelijk worden geopend, wat ook het binnenstromen van buitenlucht voorkomt. Een kleine kastachtige voorziening voor het doorgeven van goederen is een pass box, en een zuurkast is een werkplek waar chemische dampen worden afgezogen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Wat is de belangrijkste reden om de temperatuur in een cleanroom, vooral in het belichtingsgebied, zeer nauwkeurig constant te houden?
  2. Wat wordt in precisieapparatuur zoals belichtingsapparaten gebruikt om de invloed van via de vloer overgedragen trillingen te onderdrukken?
  3. Welk apparaat in een cleanroom levert ionen aan de lucht om de elektrostatische lading van wafers en apparatuur te neutraliseren?
  4. Welke eenheid aan de voorzijde van productieapparatuur opent het deksel van de FOUP en transporteert de wafers in een schone omgeving de apparatuur in?
  5. Welke uitspraak over de eisen aan een cleanroompak is juist?