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Salles blanches et équipements

Dans une salle blanche, quel terme désigne les contaminants gazeux (acides, bases, composés organiques, etc.), et non particulaires ?

  1. AContamination particulaire
  2. BContamination moléculaire (AMC)
  3. CDécharge électrostatique (ESD)
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Réponse : B. Contamination moléculaire (AMC)

L'AMC (Airborne Molecular Contamination) désigne les contaminants moléculaires présents dans l'air : gaz acides et basiques, composés organiques, dopants, etc. Les molécules étant beaucoup plus petites que les particules et non retenues par les filtres ordinaires, on les élimine par des filtres chimiques. L'ammoniac neutralise l'acide des résines à amplification chimique, et les composés organiques adsorbés à la surface des plaquettes dégradent l'adhérence des films et le collage. L'ESD désigne la décharge électrostatique.

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