HDP-CVD(高密度プラズマCVD)란?
えいちでぃーぴーしーぶいでぃー
高密度プラズマを使い、成膜と同時にイオンのスパッタで溝の入り口の膜を削りながら堆積するCVD。ボイドを抑えて狭い溝を絶縁膜で埋めるのに使われてきた。
일본어 명칭: HDP-CVD(高密度プラズマCVD)
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
관련 용어
領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 真空蒸着 静電チャック ALD CVD LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD) TEOS
えいちでぃーぴーしーぶいでぃー
高密度プラズマを使い、成膜と同時にイオンのスパッタで溝の入り口の膜を削りながら堆積するCVD。ボイドを抑えて狭い溝を絶縁膜で埋めるのに使われてきた。
일본어 명칭: HDP-CVD(高密度プラズマCVD)
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 真空蒸着 静電チャック ALD CVD LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD) TEOS