LPCVD(減圧CVD)란?
えるぴーしーぶいでぃー
減圧下で行う熱CVD。気体分子の拡散が速くなるため膜厚の均一性や段差被覆性がよく、多数のウエハを縦型炉で一度に処理できる。ポリシリコンや窒化膜の成膜に使われる。
일본어 명칭: LPCVD(減圧CVD)
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
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관련 용어
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