酸素析出物(BMD)란?
さんそせきしゅつぶつ
CZシリコンに含まれる酸素が、熱処理によってウエハの内部に析出してできる微小な欠陥。BMDとも呼び、金属不純物を捕獲するゲッタリングサイトとして利用される。
일본어 명칭: 酸素析出物(BMD)
분야: 실리콘 웨이퍼
관련 용어
結晶方位 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング
さんそせきしゅつぶつ
CZシリコンに含まれる酸素が、熱処理によってウエハの内部に析出してできる微小な欠陥。BMDとも呼び、金属不純物を捕獲するゲッタリングサイトとして利用される。
일본어 명칭: 酸素析出物(BMD)
분야: 실리콘 웨이퍼
結晶方位 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング