インゴット란?
いんごっと
CZ法などで育成した、ウエハに切り出す前の円柱状の単結晶の塊。両端を切り落とし、外周を研削して直径をそろえてから薄くスライスする。
일본어 명칭: インゴット
분야: 실리콘 웨이퍼
いんごっと
CZ法などで育成した、ウエハに切り出す前の円柱状の単結晶の塊。両端を切り落とし、外周を研削して直径をそろえてから薄くスライスする。
일본어 명칭: インゴット
분야: 실리콘 웨이퍼
結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ ウエハのノッチ ゲッタリング