位相シフトマスク란?
いそうしふとますく
隣り合う開口部を通る光の位相をずらし、光の干渉を利用して像のコントラストや解像度を高めるフォトマスク。
일본어 명칭: 位相シフトマスク
분야: 포토리소그래피
관련 용어
開口数(NA) 反射防止膜(BARC) 液浸露光 焦点深度(DOF) 化学増幅型レジスト ArFエキシマレーザー EUV露光 High-NA EUV OPC(光学近接効果補正) オーバーレイ(重ね合わせ精度)
いそうしふとますく
隣り合う開口部を通る光の位相をずらし、光の干渉を利用して像のコントラストや解像度を高めるフォトマスク。
일본어 명칭: 位相シフトマスク
분야: 포토리소그래피
開口数(NA) 反射防止膜(BARC) 液浸露光 焦点深度(DOF) 化学増幅型レジスト ArFエキシマレーザー EUV露光 High-NA EUV OPC(光学近接効果補正) オーバーレイ(重ね合わせ精度)