フォトレジスト란?

ふぉとれじすと

光に反応して現像液への溶けやすさが変わる感光性材料。ポジ型は露光部が溶け、ネガ型は露光部が残る。

일본어 명칭: フォトレジスト

분야: 포토리소그래피

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