超純水란?

ちょうじゅんすい

イオン・微粒子・有機物などを極限まで取り除いた水。ウエハの洗浄に大量に使われ、比抵抗などで純度を管理する。

일본어 명칭: 超純水

분야: 공정 재료(가스와 케미칼)