공정 재료(가스와 케미칼)
특수 가스, 초순수, 식각 가스, 스퍼터링 타깃, 고순도 실리콘 등 공정 재료의 기초를 객관식 문제로 학습합니다.
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공정 재료(가스와 케미칼): 핵심 정리
반도체 제조에는 고순도 실리콘, 증착과 식각용 특수 가스, 세정용 케미칼과 초순수, 스퍼터링 타깃, 포토레지스트, CMP 슬러리 등 많은 재료가 사용됩니다.
극미량의 불순물도 결함을 일으킬 수 있으므로 이러한 재료는 매우 높은 순도가 요구됩니다. 또한 가스 중에는 자연 발화성이나 독성을 가진 것이 많아 안전한 취급이 필수적입니다.