클린룸과 장비

구 미국 연방 규격의 클래스 100(1세제곱피트당 0.5 µm 이상의 입자가 100개 이하)에 해당하는 ISO 14644-1의 청정도 클래스는 무엇인가?

  1. AISO 클래스 5
  2. BISO 클래스 1
  3. CISO 클래스 9
정답과 해설 보기

정답: A. ISO 클래스 5

구 미국 연방 규격의 클래스 100은 1세제곱피트(약 28.3 L)당 0.5 µm 이상의 입자가 100개 이하이며, 1 m³로 환산하면 약 3500개입니다. ISO 14644-1의 클래스 5에서 0.5 µm 이상의 상한은 3520개/m³이므로 거의 해당합니다. ISO 클래스는 숫자가 1 작아질 때마다 허용 입자 수가 1/10이 되므로, 클래스 1은 매우 엄격하고 클래스 9는 일반 실내 정도입니다.

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