클린룸과 장비
ISO 14644-1의 청정도 클래스에 대한 올바른 설명은 무엇인가?
- A숫자가 클수록 청정도가 높다
- B입자의 수가 아니라 입자의 무게로 정해진다
- C클래스 숫자 N이 1 작아질 때마다 허용되는 입자 수가 대략 10분의 1이 된다
정답과 해설 보기
정답: C. 클래스 숫자 N이 1 작아질 때마다 허용되는 입자 수가 대략 10분의 1이 된다
ISO 14644-1에서는 ISO 클래스 N일 때 1 m³당 0.1 µm 이상 입자의 상한이 10의 N제곱 개로 정해져 있습니다(다른 입경의 상한도 식으로 정해집니다). 예를 들어 클래스 5는 10만 개, 클래스 4는 1만 개이며, 숫자가 작을수록 청정도가 높아집니다. 무게가 아니라 개수 농도로 정해집니다. 첨단 공장에서는 웨이퍼가 접하는 공간에서 클래스 1~3 정도가 요구됩니다.
- A. 숫자가 작을수록 청정도가 높아집니다.
- B. 입자의 개수 농도로 정해집니다.
- C. 맞습니다. 1클래스마다 입자 수의 상한이 10배씩 달라집니다.