화합물 반도체

GaAs 웨이퍼의 가공 부스러기나 폐기물을 취급할 때 주의가 필요한 이유로 올바른 것은?

  1. A방사성 물질을 포함하기 때문
  2. B비소를 포함하므로 유해 물질로서 적절히 관리·처리해야 하기 때문
  3. C공기에 닿으면 폭발하기 때문
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정답: B. 비소를 포함하므로 유해 물질로서 적절히 관리·처리해야 하기 때문

GaAs에는 유해한 비소가 약 절반(중량으로 약 52%) 포함되어 있으므로, 연삭이나 연마에서 나오는 분진과 폐액, 폐기하는 웨이퍼는 법령에 따라 특별관리 산업폐기물 등으로 적절히 처리하고 비소 회수도 합니다. 작업자가 노출되지 않도록 국소 배기와 보호구를 사용합니다. 제조 시 사용하는 아르신(AsH3) 가스는 더욱 맹독성이어서 엄격한 가스 검지와 제해 설비가 필요합니다.

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