ESD(静電気放電)란?

いーえすでぃー

帯電した人や物体から、静電気が一気に放電する現象。ICの端子に加わるとゲート酸化膜などを破壊するため、入出力端子には保護回路を設ける。

일본어 명칭: ESD(静電気放電)

ESD(静電気放電)은(는) 클린룸과 장비 등 1개 분야의 연습 문제 2개에 나와요.

분야: 신뢰성

도전해 보기: ESD(静電気放電) 관련 문제

클린룸에서 입자가 아닌 가스 상태의 오염 물질(산, 알칼리, 유기물 등)을 가리키는 용어는 무엇인가?

  1. A파티클 오염
  2. B분자 오염(AMC)
  3. C정전기 방전(ESD)
정답과 해설 보기

정답: B. 분자 오염(AMC)

AMC(Airborne Molecular Contamination)는 공기 중에 포함된 산성·염기성 가스, 유기물, 도펀트 등의 분자 상태 오염 물질입니다. 분자는 입자보다 훨씬 작아 일반 필터로는 제거되지 않으므로 케미컬 필터로 제거합니다. 암모니아는 화학 증폭형 레지스트의 산을 중화시키고, 유기물은 웨이퍼 표면에 부착되어 막의 밀착이나 접합을 나쁘게 합니다. ESD는 정전기 방전을 말합니다.

클린룸의 바닥재나 작업대에 도전성(정전기를 빼내는 성질)을 가진 재료가 사용되는 주된 이유는 무엇인가?

  1. A바닥을 반짝이게 하여 밝게 하기 위해
  2. B대전에 의한 정전기 방전으로 소자가 파괴되거나, 입자가 정전기로 끌려와 부착되는 것을 막기 위해
  3. C전기를 흘려 바닥을 데우기 위해
정답과 해설 보기

정답: B. 대전에 의한 정전기 방전으로 소자가 파괴되거나, 입자가 정전기로 끌려와 부착되는 것을 막기 위해

클린룸에는 수지 용기와 의복이 많고 건조하여 정전기가 쌓이기 쉬운 환경입니다. 대전된 물체나 사람에게서 방전(ESD)이 일어나면 소자가 파괴될 수 있고, 대전된 웨이퍼에는 입자가 끌려옵니다. 도전성 바닥과 작업대, 접지한 리스트 스트랩, 도전성 신발을 조합하여 전하를 대지로 빼냅니다. 외관이나 바닥 난방을 위한 것이 아닙니다.

해설 속 ESD(静電気放電)

ESD(静電気放電)이(가) 나오는 문제 (2)

  1. 클린룸에서 입자가 아닌 가스 상태의 오염 물질(산, 알칼리, 유기물 등)을 가리키는 용어는 무엇인가?
  2. 클린룸의 바닥재나 작업대에 도전성(정전기를 빼내는 성질)을 가진 재료가 사용되는 주된 이유는 무엇인가?

관련 용어

分子状汚染(AMC) FIT MTTF(平均故障時間) NBTI TDDB(経時絶縁破壊) アレニウスモデル エレクトロマイグレーション ソフトエラー バスタブ曲線 ホットキャリア注入(HCI)

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