클린룸 공기에서 암모니아나 유기물 등의 분자 오염(AMC)을 제거하는 데 사용되는 필터는 무엇인가?

정답: B. 케미컬 필터(활성탄이나 이온 교환체를 사용한 필터)

ULPA나 HEPA 필터는 입자를 포집하지만 가스 상태의 분자는 빠져나갑니다. 케미컬 필터는 활성탄이나 산·알칼리와 반응하는 약제를 첨착한 여과재, 이온 교환 수지 등을 사용하여 분자를 흡착·반응시켜 제거합니다. 제거할 물질에 맞춰 종류를 선택하며, 흡착량에 한계가 있으므로 정기적으로 교체합니다. 외기 도입구나 노광 장비 등 중요한 장비에 사용됩니다.

• A. ULPA 필터는 입자를 포집하는 것으로, 가스 상태의 분자는 통과시킵니다.
• B. 맞습니다. 흡착이나 화학 반응으로 분자 오염을 제거합니다.
• C. 프리 필터는 큰 먼지를 제거하기 위한 것입니다.