공정 재료(가스와 케미칼)

열처리로의 반응관이나 웨이퍼를 올리는 지그에 널리 쓰이는, 고순도이고 내열성이 뛰어난 재료는 무엇입니까?

  1. A폴리에틸렌
  2. B석영 유리
  3. C구리
정답과 해설 보기

정답: B. 석영 유리

석영 유리는 고순도이고 연화점이 약 1600 ℃로 높으며, 열팽창 계수가 약 0.5×10⁻⁶ /K로 매우 작아 급격한 온도 변화에도 잘 깨지지 않고 많은 약품에도 강한 재료입니다. 그래서 열처리로의 반응관, 웨이퍼 보트, CZ법의 도가니 등에 쓰입니다. 더 높은 온도에서의 강도나 긴 수명이 필요한 부재에는 SiC도 쓰입니다. 폴리에틸렌은 내열성이 없고, 구리는 금속 오염의 원인이 됩니다.

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