공정 재료(가스와 케미칼)

Low-k 층간 절연막으로 쓰이는 대표적인 재료는 무엇입니까?

  1. A탄소를 포함한 실리콘 산화물(SiOC)계 막
  2. B구리
  3. C질화티타늄
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정답: A. 탄소를 포함한 실리콘 산화물(SiOC)계 막

Low-k 막에는 실리콘 산화물에 탄소나 메틸기를 도입하여 분극하기 어렵게 만든 SiOC계 막이 널리 쓰이며, 비유전율은 SiO2의 약 3.9에 비해 2.7~3.0 정도입니다. 대부분 플라즈마 CVD로 성막합니다. 미세한 공극을 넣은 다공질 막에서는 2.5 이하로 낮출 수 있지만, 기계적 강도가 떨어지고 플라즈마에 의한 손상도 받기 쉬워집니다. 구리는 배선 재료, 질화티타늄은 배리어나 하드마스크의 재료입니다.

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