공정 재료(가스와 케미칼)

장치 챔버의 세정 등에 쓰이는 삼불화염소(ClF3)의 특징으로 올바른 것은 무엇입니까?

  1. A불활성이며 거의 모든 물질과 반응하지 않는다
  2. B반응성이 매우 높아 많은 물질과 격렬하게 반응하므로 엄격한 취급이 필요하다
  3. C무해하며 환기도 필요 없다
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정답: B. 반응성이 매우 높아 많은 물질과 격렬하게 반응하므로 엄격한 취급이 필요하다

ClF3는 반응성이 매우 높아 플라즈마를 쓰지 않아도 많은 물질을 식각할 수 있으므로, 에피택셜 장치 등의 챔버 내 부착물을 그 자리에서 제거하는 세정에 쓰입니다. 반면 유기물이나 많은 금속과 격렬하게 반응하여 발화하기도 하고 독성도 높으므로, 재료 선정과 누출 대책을 엄격하게 합니다. 불활성도 무해하지도 않으며, 반응성이 높다는 점이 용도와 위험 모두의 이유입니다.

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