공정 재료(가스와 케미칼)

ArF 엑시머 레이저의 발진에 쓰이는 가스의 조합으로 적절한 것은 무엇입니까?

  1. A산소와 질소
  2. B수소와 헬륨만
  3. C아르곤과 불소(네온 등의 버퍼 가스를 포함)
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정답: C. 아르곤과 불소(네온 등의 버퍼 가스를 포함)

ArF 엑시머 레이저는 소량의 아르곤과 불소를 네온 버퍼 가스로 희석한 혼합 가스를 방전으로 여기시켜 파장 193 nm의 빛을 냅니다. 엑시머는 여기 상태에서만 결합하는 분자(excited dimer)를 뜻하며, 바닥 상태로 돌아가면 분리되므로 효율적으로 자외선을 얻을 수 있습니다. KrF 엑시머 레이저(248 nm)는 크립톤과 불소를 사용합니다. 산소와 질소, 수소와 헬륨으로는 193 nm의 빛이 나오지 않습니다.

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