공정 재료(가스와 케미칼)
MOCVD의 원료인 트리메틸갈륨(TMGa) 등 유기금속 화합물을 취급할 때의 주의점으로 올바른 것은 무엇입니까?
- A독성도 반응성도 없어 안전하게 다룰 수 있다
- B강한 방사선을 방출한다
- C공기나 물과 격렬하게 반응하며 자연발화할 우려가 있다
정답과 해설 보기
정답: C. 공기나 물과 격렬하게 반응하며 자연발화할 우려가 있다
트리메틸갈륨이나 트리메틸알루미늄 등의 유기금속 화합물은 공기 중에서 자연발화하고 물과도 격렬하게 반응합니다. 온도를 일정하게 유지한 버블러라는 용기에 넣고 수소나 질소를 통과시켜 증기를 운반합니다. 온도에 따라 증기압이 정해지므로, 용기의 온도와 가스 유량으로 공급량을 제어합니다. 방사선은 내지 않으며, 안전하게 다룰 수 있는 물질도 아닙니다. GaN이나 GaAs의 MOCVD에 쓰입니다.