공정 재료(가스와 케미칼)

장치에 공급하기 직전의 가스에서 미량의 불순물이나 파티클을 제거하기 위해 배관에 설치하는 기기는 무엇입니까?

  1. A진공 펌프
  2. B가스 정제기(퓨리파이어)나 가스 필터
  3. C히터
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정답: B. 가스 정제기(퓨리파이어)나 가스 필터

가스는 봄베나 배관 안에서도 수분, 산소 등의 미량 불순물이나 파티클을 끌어안을 수 있습니다. 그래서 장치 바로 앞에 금속 게터재 등으로 불순물을 흡착하는 가스 정제기와 미세한 입자를 잡는 필터를 두어 ppt 수준의 순도를 유지합니다. 진공 펌프는 가스를 배기하는 기기이고 히터는 온도를 올리는 기기이므로, 둘 다 불순물을 제거할 수 없습니다.

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