산화와 확산
파이로제닉 산화(수소 연소 산화)에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A수소와 산소를 연소시켜 생성한 고순도 수증기로 산화하는 습식 산화 방법
- B건조한 산소만으로 산화하는 건식 산화 방법
- CCVD로 산화막을 퇴적하는 방법
정답과 해설 보기
정답: A. 수소와 산소를 연소시켜 생성한 고순도 수증기로 산화하는 습식 산화 방법
파이로제닉 산화에서는 로의 입구(토치)에서 수소와 산소를 연소시켜 수증기를 만들고, 그 수증기로 실리콘을 산화합니다. 순수를 끓여 수증기를 보내는 방법에 비해 오염이 적고, 가스 유량으로 수증기의 양을 정확하게 제어할 수 있습니다. 수소가 남으면 폭발 위험이 있으므로 산소를 조금 더 많이 흘리는 안전 설계로 되어 있습니다. 두꺼운 필드 산화막이나 마스크 산화막 형성에 널리 사용되어 왔습니다.