게이트 산화막 중에 나트륨 이온 등의 가동 이온이 포함되면 발생하는 문제로 올바른 것은?

정답: B. 전계나 온도에 의해 이온이 이동하여 문턱 전압이 변동한다

나트륨 등 알칼리 금속 이온은 산화막 속을 움직이기 쉬우며, 전계나 온도(예를 들어 200 ℃ 정도)에 의해 계면 부근으로 이동하면 양전하로서 문턱 전압을 변동시킵니다. 1960년대 MOS 소자의 불안정성의 가장 큰 원인이었으며, 사람의 땀이나 기구에서도 혼입됩니다. 클린룸에서의 오염 관리, 염소 산화, 인 유리(PSG)에 의한 포획 등으로 대책을 세워 MOS 기술이 실용화되었습니다.