계측과 분석
제조 라인의 계측에서 모든 웨이퍼나 모든 지점을 측정하지 않고 일부를 골라 측정하는 경우가 많은 주된 이유는?
- A모두 측정하면 제품이 망가지기 때문에
- B계측 장비는 하루에 한 번밖에 사용할 수 없기 때문에
- C계측에도 시간과 비용이 들기 때문에, 공정 산포를 파악할 수 있는 범위에서 샘플링하여 측정한다
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정답: C. 계측에도 시간과 비용이 들기 때문에, 공정 산포를 파악할 수 있는 범위에서 샘플링하여 측정한다
계측에는 장비의 시간과 비용이 들며, 모든 웨이퍼의 모든 지점을 측정하면 생산 흐름이 느려지고 계측 장비도 대량으로 필요해집니다. 그래서 공정 산포의 성질에 맞춰 로트에서 몇 장, 웨이퍼 내 몇 지점을 측정할지 정한 샘플링 계획에 따라 계측합니다. 안정된 공정에서는 측정량을 줄이고, 중요한 공정이나 이상 징후가 있을 때는 늘립니다.
- A. 대부분의 계측은 비파괴이므로 제품이 망가지지 않습니다.
- B. 계측 장비는 연속해서 사용할 수 있습니다.
- C. 올바릅니다. 시간과 비용을 고려하여 샘플링해서 측정합니다.