계측과 분석
X선 회절(XRD)로 주로 평가할 수 있는 것은?
- A표면의 유기물 오염
- B면저항(시트 저항)
- C결정 구조, 격자 상수, 막의 변형(스트레인)
정답과 해설 보기
정답: C. 결정 구조, 격자 상수, 막의 변형(스트레인)
XRD는 X선이 결정의 원자면에서 회절되는 브래그 조건 2d·sinθ=nλ로부터 결정 구조나 격자면 간격을 조사하는 방법입니다. 고분해능 XRD에서는 SiGe 등 에피택셜 막의 회절 피크 위치로부터 조성과 변형을, 피크의 폭으로부터 결정의 완전성을 평가할 수 있습니다. 다결정 막에서는 결정 방위가 얼마나 정렬되어 있는지도 알 수 있습니다. 유기물 오염이나 면저항은 측정할 수 없습니다.