EUV 노광에서 문제가 되는 확률적 요동(스토캐스틱스)의 주된 원인으로 올바른 것은?

정답: C. EUV 빛은 광자 1개의 에너지가 커서 같은 노광량이라도 광자의 수가 적기 때문

광자 1개의 에너지는 파장에 반비례하므로 EUV(13.5 nm, 약 92 eV)는 ArF(193 nm, 약 6.4 eV)의 약 14배입니다. 같은 노광량이면 닿는 광자의 수는 1/14이 되며, 예를 들어 20 nm 사방에 들어오는 광자는 수백~수천 개 정도에 불과하고 그 수는 통계적으로 √N 정도 흔들립니다. 이것이 스토캐스틱스이며, 패턴의 결락·연결, LER, 작은 홀이 열리지 않는 불량 등의 원인이 됩니다. 노광량을 늘리면 개선되지만 생산성이 떨어집니다.