ナノシート란?
なのしーと
薄い板状のシリコンのチャネルを縦に何枚も積み重ね、それぞれをゲートで囲むGAAトランジスタの構造。シートの幅で電流を調整できる。
일본어 명칭: ナノシート
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관련 용어
CFET(相補型FET) DTCO(設計・技術協調最適化) EOT(等価酸化膜厚) FD-SOI(完全空乏型SOI) FinFET GAA(ゲートオールアラウンド) High-k/メタルゲート SADP(自己整合ダブルパターニング) ゲートラスト(リプレースメントメタルゲート) ランダムドーパントゆらぎ(RDF)