식각

GaN의 건식 식각에 일반적으로 사용되는 가스는?

  1. A염소계 가스(Cl2, BCl3 등)
  2. B산소뿐
  3. C수증기
정답과 해설 보기

정답: A. 염소계 가스(Cl2, BCl3 등)

GaN은 결합이 강하고 화학적으로 안정되어 습식 식각이 거의 듣지 않는 재료이지만, 염소계 가스의 플라즈마를 사용하면 휘발성의 GaCl3로 만들어 제거할 수 있습니다. BCl3는 표면 산화막의 제거도 돕습니다. ICP 등의 고밀도 플라즈마 장치로 LED나 레이저의 메사 구조, HEMT 게이트의 오목부(리세스) 등을 가공하며, 손상으로 성능이 떨어지지 않도록 낮은 이온 에너지로의 가공도 연구되고 있습니다.

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