식각
반도체 제조에서 식각의 역할로 올바른 것은?
- A레지스트 등의 마스크로 덮이지 않은 부분의 막을 깎아내어 패턴을 형성한다
- B불순물을 확산시킨다
- C웨이퍼에 막을 입힌다
정답과 해설 보기
정답: A. 레지스트 등의 마스크로 덮이지 않은 부분의 막을 깎아내어 패턴을 형성한다
식각은 리소그래피로 만든 레지스트 패턴 등을 마스크로 삼아, 덮이지 않은 부분의 막이나 기판을 화학 반응이나 이온 충격으로 제거하여 회로 패턴을 만드는 공정입니다. 레지스트의 선폭을 정확하게 아래 막에 옮기는 것이 요구되며, 첨단 제품에서는 치수 변화를 1 nm 정도 이하로 억제합니다. 리소그래피와 짝을 이루어 LSI 제조에서 수십 번 반복됩니다.
- A. 맞습니다. 마스크가 없는 부분을 깎아 패턴을 만듭니다.
- B. 불순물을 확산시키는 것은 열처리 공정입니다.
- C. 막을 입히는 것은 성막 공정입니다.