식각

게이트 식각에서 하지 절연막과의 경계 부근의 패턴 측면이 옆으로 파이는 현상을 무엇이라고 부르는가?

  1. A보잉
  2. B노칭
  3. C디싱
정답과 해설 보기

정답: B. 노칭

노칭은 식각이 하지 절연막에 도달한 뒤 절연막 표면에 이온의 양전하가 쌓여, 나중에 오는 이온의 궤도가 옆으로 휘면서 패턴의 밑동이 옆으로 파이는 현상입니다. 특히 패턴의 끝부분에서 일어나기 쉬우며, 게이트 길이가 국소적으로 변하여 트랜지스터 특성이 흩어집니다. 펄스 플라즈마나 낮은 주파수의 바이어스로 대전을 억제하거나 오버 식각 조건을 조정하여 대책을 세웁니다.

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