식각
이방성 식각, 선택비, 습식 식각과 건식 식각의 차이 등 식각의 기초를 객관식 문제로 학습합니다.
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식각: 핵심 정리
식각은 레지스트 등의 마스크로 덮이지 않은 막 부분을 제거하여 패턴을 형성하는 공정입니다. 화학 용액을 사용하는 습식 식각과 플라즈마 등을 사용하는 건식 식각이 있습니다.
미세 패턴을 정확하게 가공하려면 이방성(수직 방향으로만 식각)과 선택비(대상 막만 식각)가 중요합니다. 반응성 이온 식각(RIE)이 대표적인 기술입니다.