식각
산화막을 식각하여 아래에 있는 질화막에서 멈추게 하고 싶을 때 필요한 것은?
- A낮은 선택비
- B등방성 식각
- C질화막에 대한 산화막의 높은 식각 선택비
정답과 해설 보기
정답: C. 질화막에 대한 산화막의 높은 식각 선택비
질화막에서 멈추게 하려면 산화막은 빠르게 식각하고 질화막은 거의 식각하지 않는 조건이 필요합니다. C4F6나 C4F8처럼 탄소 비율이 높은 플루오로카본 가스를 사용하면, 질화막 위에는 폴리머가 쌓여 반응을 멈추고 산화막 위에서는 산소가 폴리머를 소비하여 식각이 진행되므로 질화막에 대해 수십 이상의 선택비를 얻을 수 있습니다. 자기 정렬 컨택트 형성 등에서 중요합니다.