Low-k材料란?
ろーけーざいりょう
比誘電率の低い層間絶縁膜材料。配線間容量を下げ、信号遅延や消費電力を減らす。
일본어 명칭: Low-k材料
분야: 배선 공정
관련 용어
多層配線 裏面電源供給 表皮効果 IRドロップ MOL(ミドル・オブ・ライン) RC遅延 エアギャップ クロストーク コンタクト シード層
ろーけーざいりょう
比誘電率の低い層間絶縁膜材料。配線間容量を下げ、信号遅延や消費電力を減らす。
일본어 명칭: Low-k材料
분야: 배선 공정
多層配線 裏面電源供給 表皮効果 IRドロップ MOL(ミドル・オブ・ライン) RC遅延 エアギャップ クロストーク コンタクト シード層