식각
수산화칼륨(KOH) 수용액에 의한 실리콘 습식 식각의 특징으로 올바른 것은?
- A결정면에 따라 식각 속도가 크게 다르며 (111)면이 매우 느리기 때문에 경사면을 가진 V자형 홈 등이 만들어진다
- B모든 결정면에서 같은 속도로 진행되는 등방성 식각이다
- C산화막을 고속으로 녹인다
정답과 해설 보기
정답: A. 결정면에 따라 식각 속도가 크게 다르며 (111)면이 매우 느리기 때문에 경사면을 가진 V자형 홈 등이 만들어진다
KOH 등의 알칼리 용액은 실리콘의 (111)면을 (100)면의 100분의 1 정도 속도로밖에 식각하지 않기 때문에, (100) 웨이퍼에서는 (111)면이 드러나 약 54.7°의 경사면을 가진 V자형 홈이나 피라미드형 구멍이 만들어집니다. 이 결정 방위에 의한 이방성을 이용하여 MEMS 압력 센서의 다이어프램, 잉크젯 노즐, 태양전지 표면의 빛을 가두는 요철(텍스처) 등을 만듭니다.