식각
건식 식각에서 이방성이 얻어지는 원리의 하나로 올바른 것은?
- A측벽에 퇴적된 보호막이 가로 방향 식각을 막고, 바닥면에서는 이온 충격으로 보호막이 제거되어 식각이 진행된다
- B측벽만 빠르게 녹는다
- C약액이 모든 방향으로 균등하게 반응한다
정답과 해설 보기
정답: A. 측벽에 퇴적된 보호막이 가로 방향 식각을 막고, 바닥면에서는 이온 충격으로 보호막이 제거되어 식각이 진행된다
건식 식각에서는 플루오로카본 등의 가스나 반응 생성물에서 유래한 폴리머가 측벽에 부착되어 가로 방향 식각을 막습니다. 한편 바닥면에는 이온이 수직으로 입사하므로 보호막이 제거되어 식각이 진행됩니다. 보호막이 너무 많으면 구멍이 점점 좁아지고(테이퍼), 너무 적으면 옆으로 퍼지므로(보잉) 가스 조성과 온도로 균형을 맞추어 수직 형상을 만듭니다.