박막 증착(CVD와 PVD)

CVD에서 스텝 커버리지(컨포멀성)가 좋아지는 조건으로 옳은 것은 무엇인가?

  1. A표면 반응 율속이 되는 조건(비교적 저온·저압 등)
  2. B원료 가스 공급이 율속이 되는 조건
  3. C원료 가스를 한 방향에서 고속으로 분사하는 조건
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정답: A. 표면 반응 율속이 되는 조건(비교적 저온·저압 등)

표면 반응 율속 조건에서는 원료 가스가 트렌치 깊숙이까지 충분히 퍼진 뒤 표면에서 천천히 반응하므로, 위치에 따른 성막 속도 차이가 작아 단차의 측벽과 바닥에도 균일하게 성막할 수 있습니다. 비교적 저온으로 하면 반응이 느려지고, 저압으로 하면 가스 확산이 빨라지므로 이 조건에 가까워집니다. 반대로 공급 율속 조건에서는 가스가 닿기 쉬운 개구부일수록 두껍게 붙어 입구가 막히기 쉽습니다.

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