박막 증착(CVD와 PVD)

텅스텐 CVD의 원료로 사용되는 가스는 무엇인가?

  1. ATEOS
  2. B실레인(SiH4)
  3. C육불화텅스텐(WF6)
정답과 해설 보기

정답: C. 육불화텅스텐(WF6)

텅스텐 CVD에서는 WF6를 수소로 환원(WF6 + 3H2 → W + 6HF)하여 텅스텐 막을 증착하며, 초기 핵 형성에는 실레인 등을 사용합니다. 스텝 커버리지가 좋아 직경 수십 nm의 가는 콘택트 홀도 매립할 수 있고, 융점이 높아 전류에 의한 열화에도 강하기 때문에 트랜지스터와 배선을 잇는 콘택트 플러그나 3D NAND의 워드라인 형성에 사용됩니다.

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