CMP에서 패드 컨디셔닝을 강하게 하면(컨디셔너를 누르는 힘을 크게 하는 등) 일반적으로 일어나는 일로 가장 적절한 것은?

정답: C. 패드 표면의 요철이 유지되어 연마 속도는 안정되기 쉽지만, 패드가 빨리 닳아 교체 횟수가 늘어난다

연마 패드 표면의 미세한 요철과 기공이 슬러리를 붙잡아 연마를 진행시킵니다. 패드 컨디셔닝은 다이아몬드 입자를 붙인 디스크로 패드 표면을 살짝 깎아 뭉개진 요철을 재생하는 작업입니다. 강하게 하면 요철이 잘 재생되어 연마 속도는 안정되기 쉬워지지만, 그만큼 패드가 빨리 깎입니다. 패드가 닳아 슬러리를 흘려보내는 홈이 얕아지면 연마 상태가 바뀌므로 교체가 필요해지고, 교체할 때마다 장비를 멈추게 됩니다. 따라서 연마의 안정성과, 소모품 비용이나 장비 가동률 사이의 균형으로 조건을 정합니다.