En CMP, que se passe-t-il en général lorsque le conditionnement du tampon est rendu plus agressif (par exemple en appuyant plus fort le conditionneur) ? Choisissez la réponse la plus appropriée.

Réponse : C. La texture de surface du tampon est préservée et la vitesse d'enlèvement tend à rester stable, mais le tampon s'use plus vite et doit être remplacé plus souvent

Les fines aspérités et les pores de la surface du tampon de polissage retiennent la suspension (slurry) et entretiennent le polissage. Le conditionnement du tampon abrase légèrement sa surface avec un disque à grains de diamant pour régénérer les aspérités aplaties. Un conditionnement plus agressif régénère bien la texture et tend à stabiliser la vitesse d'enlèvement, mais il use aussi le tampon plus vite. Quand le tampon s'use et que les rainures qui évacuent la suspension deviennent peu profondes, les conditions de polissage changent et il faut remplacer le tampon, ce qui arrête l'équipement à chaque fois. Les réglages du conditionnement se choisissent donc en arbitrant entre la stabilité du polissage, d'une part, et le coût des consommables et la disponibilité de l'équipement, d'autre part.